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第2139章 千磨万镜,光路初生(2 / 2)

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无数次打磨,无数次透光校验,无数次推翻重来。

有的镜片打磨成型,透光时出现细微色散,作废重磨。

有的镜片弧度微微偏差,光路轻微偏移,直接舍弃。

有的镜片抛光过度,厚度不达标,从头再来。

一堆完好的玻璃坯,在工作台旁渐渐堆起了大半截废镜。

失败、重来、再失败、再精进。

枯燥、重复、极致煎熬的工序,整整持续了三天三夜。

三日之内,实验室内炉火不熄,打磨声日夜不绝。

林金莲几乎寸步不离工作台,所有心神全部倾注在一片片镜片之上。

刘科学全程陪伴,记录下每一片镜片的曲率参数、厚度数据、透光倍率,整理出一套完整的手工光学镜片参数表。

这是独属于他们的、从零摸索出的光学工艺体系。

终于,最后一片消色差矫正镜片,在林金莲手中打磨完成。

当晨光透过层层叠叠的十几片镜片,依次折射、校准、聚合,最终投射出一束纤细、平行、无散光、无色差的纯净光束时。

整个工坊瞬间安静下来。

一套完整的光刻物镜组,全部手工成型。

十几片大小不一、功能各异的光学镜片,片片通透无瑕、弧度精准到极致,透光精度远超普通工业镜片。

“成了……全套光路镜片,全部成型!”

刘科学看着眼前整齐排列的镜片组,心中震撼到无以复加的说道。

谁能想到,没有任何精密数控设备,仅凭林金莲的神魂之力、一颗静心,一双巧手,就打磨出了光刻机最核心的光学镜头组。

林金莲轻轻拭去镜片上的微尘,眼神认真而严谨的说道:

“镜片成型,只是光路基础。

下一步,精准固定镜距、校准折射角度、搭建平行光路,组装初代投影物镜系统。”

她提前根据图纸测算好每一片镜片的间距、角度、安装顺序,亲手打磨铝合金镜筒,制作可微调的精密固定卡槽。

每一片镜片的安装,都分毫不差。

一毫米不多,一毫米不少。

偏角一丝不斜,间距一毫不差。

正午时分。

初代光刻投影光路系统,正式组装完毕。

简陋却极致精密的镜筒中,十几片精磨镜片层层排布,规整有序。

当刘科学点亮自制的紫外基础光源。

一束淡紫色微光射入镜筒。

经过层层折射、矫正、消色差、平行聚合。

镜筒末端,一道极细、极稳、边界绝对清晰的平行光束稳稳投射而出。

光束落在铺有光刻胶的硅片上,光斑规整、无扩散、无模糊、无畸变。

完美符合光刻成像的基础要求!

林金莲凝视着那道纤细的光刻光束,眼底终于亮起璀璨的光芒。

四大难关。

高纯硅基底,攻克!

精密光刻胶,攻克!

光学镜片组,攻克!

光刻投影光路,攻克!

如今只剩最后一步——超高精度动态工件台。

也就是承载硅片、可以纳米级精准移动、对位、扫描曝光的核心传动系统。

林金莲转头看向刘科学,语气清亮而坚定。

“光路已成,材料已备。

只要造出纳米级精准移动的工件台,我们的第一台初代光刻机,就能组装成型了。”

刘科学望着那束穿越镜片、澄澈无瑕的光刻微光,心中积压许久的执念彻底沸腾。

从零起步,手撕光刻机壁垒。

他们离造出属于自己的光刻机,只差最后一步!

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